Axcelis Technologies, Inc. entwickelt, fertigt und wartet Ionenimplantations- und andere Verarbeitungsgeräte, die bei der Herstellung von Halbleiterchips verwendet werden. Das Unternehmen bietet eine komplette Reihe von Hochenergie-, Hochstrom- und Mittelstrom-Implantern für alle Anwendungsanforderungen. Zusätzlich zu den Anlagen bietet das Unternehmen umfangreiche Aftermarket-Lebenszyklusprodukte und -dienstleistungen an, darunter gebrauchte Werkzeuge, Ersatzteile, Anlagen-Upgrades, Wartungsdienste und Kundenschulungen. Die Purion-Flaggschiffsysteme basieren alle auf einer gemeinsamen Plattform, die eine Kombination aus Implantatreinheit, Präzision und Produktivität ermöglicht. Durch die Kombination einer einzigen Wafer-Endstation mit einer fortschrittlichen Spot-Beam-Architektur (die sicherstellt, dass alle Punkte auf dem Wafer die gleiche Strahlbedingung im gleichen Strahlwinkel sehen) ermöglichen die Purion-Produkte eine Prozesssteuerung zur Optimierung der Leistung und Ausbeute der Bauelemente bei hoher Produktivität. Das Unternehmen verkauft seine Produkte an Hersteller von Halbleiterchips in aller Welt.