SÜSS MicroTec führt mit der DSC300 Gen2 die neuste Generation von Projektionsscannern für Advanced Packaging in den Markt ein
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SÜSS MicroTec führt mit der DSC300 Gen2 die neuste Generation von
Projektionsscannern für Advanced Packaging in den Markt ein
04.03.2014 / 08:12
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PRESSEMITTEILUNG
SÜSS MicroTec führt mit der DSC300 Gen2 die neuste Generation von
Projektionsscannern für Advanced Packaging in den Markt ein
Garching, 4. März 2014 - SÜSS MicroTec, globaler Hersteller von Anlagen und
Prozesslösungen für die Halbleiterindustrie und verwandte Märkte, hat heute
den Projektionsscanner DSC300 Gen2 in den Markt eingeführt. Die bewährte
Projektionsscantechnologie von SUSS MicroTec Photonic Systems (ehemals
Tamarack Scientific) bildet die Grundlage der DSC300-Plattform für
Wafergrößen bis zu 300mm. Sie kombiniert die Vorteile der
Vollfeldbelichtung mit denen der klassischen Projektionslithographie.
Ausgestattet mit einer Vollfeldmaske und einer Breitbandprojektionsoptik
belichtet der Scanner den Wafer in einem Belichtungsschritt (scan). In das
Design des Maskenlayouts lassen sich bereits zusätzliche Funktionen wie die
Belichtung der Ränder integrieren - ein wichtiger Schritt vor der
Durchführung weiterer Prozessschritte.
Die zweite Generation von Projektionsscannern enthält Verbesserungen und
Neuerungen, um die Anforderungen fortschrittlicher Advanced
Packaging-Technologien, wie beispielsweise Cu-Pillar-Bumping und
Wafer-Level-Chip-Scale-Packaging (WLSCP), im Hinblick auf Overlay,
Auflösung und Automatisierung zu erfüllen. Mit der DSC300 Gen2 und dem Mask
Aligner MA300 Gen2 bietet SÜSS MicroTec zwei komplementäre
Lithografielösungen an, welche dem Kunden eine Optimierung von Preis und
Leistung ermöglichen.
'Nach der Übernahme von Tamarack Scientific im Jahr 2012 haben wir das
Produktportfolio optimiert, uns auf die erfolgversprechendsten Geräte
konzentriert und diese systematisch weiterentwickelt und volumentauglich
gemacht.', erklärt Frank P. Averdung, Vorstandsvorsitzender der SÜSS
MicroTec AG. 'Die 2. Generation des Projektionsscanners DSC300 ist ein
weiterer Schritt bei der Erweiterung des Produktportfolios der SUSS
MicroTec Photonic Systems.'
Über SÜSS MicroTec
SÜSS MicroTec ist einer der weltweit führenden Hersteller von Anlagen- und
Prozesslösungen für die Mikrostrukturierung in der Halbleiterindustrie und
verwandten Märkten. In enger Zusammenarbeit mit Forschungsinstituten und
Industriepartnern treibt SÜSS MicroTec die Entwicklung von neuen
Technologien wie 3D Integration und Nanoimprint Lithographie sowie
Schlüsselprozesse für die MEMS und LED Produktion voran. Weltweit sind mehr
als 8.000 installierte Systeme von SÜSS MicroTec im Einsatz, unterstützt
von einer globalen Infrastruktur für Applikationen und Service. Hauptsitz
der SÜSS Gruppe ist in Garching bei München. Für weitere Informationen
besuchen Sie www.suss.com.
Kontakt:
SÜSS MicroTec AG
Franka Schielke
Schleissheimer Strasse 90
85748 Garching, Deutschland
Tel.: +49 (0)89 32007-161
Fax: +49 (0)89 32007-451
Email: franka.schielke@suss.com
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