VELDHOVEN (dpa-AFX) - Der Brand in einem Berliner Werk des Chipindustrie-Ausrüsters ASML (AS:ASML) beeinträchtigt die Teileproduktion für wichtige Maschinen zur Herstellung von Elektronikchips. Während die Produktion von Teilen für die klassischen Deep-Ultraviolett-Maschinen (DUV) wieder angelaufen sei, liefen entsprechende Planungen für Extrem-Ultraviolett-Lithographieanlagen (EUV) noch, teilte das Unternehmen am Freitag nach einer vorläufigen Untersuchung mit. Wann die Produktion in der betroffenen Halle wieder starten kann, sei noch nicht klar. Es werde aber daran gearbeitet, die Folgen für die Kunden gering zu halten.
Neue Erkenntnisse zu dem Brand von Anfang Januar will ASML nach Möglichkeit am 19. Januar zusammen mit dem Jahresbericht vorstellen. Der Brand auf dem Berliner Werk war in der Nacht zum Montag ausgebrochen. Sollte die Produktion von EUV-Anlagen länger in Mitleidenschaft gezogen werden, könnten sich Lieferengpässe bei Halbleitern noch verschärfen. So hat ASML die Quasi-Monopolstellung bei den zukunftsträchtigen EUV-Lithografiemaschinen, die Chipkonzernen die Produktion kleinerer und damit leistungsfähigerer Chips ermöglichen soll./jcf/mis/jha/