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Axcelis Technologies, Inc. entwickelt, fertigt und wartet Ionenimplantations- und andere Verarbeitungsgeräte, die bei der Herstellung von Halbleiterchips verwendet werden. Das Unternehmen bietet eine komplette Reihe von Hochenergie-, Hochstrom- und Mittelstrom-Implantern für alle Anwendungsanforderungen. Zusätzlich zu den Anlagen bietet das Unternehmen umfangreiche Aftermarket-Lebenszyklusprodukte und -dienstleistungen an, darunter gebrauchte Werkzeuge, Ersatzteile, Anlagen-Upgrades, Wartungsdienste und Kundenschulungen. Die Purion-Flaggschiffsysteme basieren alle auf einer gemeinsamen Plattform, die eine Kombination aus Implantatreinheit, Präzision und Produktivität ermöglicht. Durch die Kombination einer einzigen Wafer-Endstation mit einer fortschrittlichen Spot-Beam-Architektur (die sicherstellt, dass alle Punkte auf dem Wafer die gleiche Strahlbedingung im gleichen Strahlwinkel sehen) ermöglichen die Purion-Produkte eine Prozesssteuerung zur Optimierung der Leistung und Ausbeute der Bauelemente bei hoher Produktivität. Das Unternehmen verkauft seine Produkte an Hersteller von Halbleiterchips in aller Welt.
Name | Alter | Seit | Titel |
---|---|---|---|
Mary G. Puma | 65 | 2000 | Executive Chairperson |
Joseph P. Keithley | 74 | 2011 | Independent Director |
Jorge Luis Titinger | 62 | 2019 | Lead Independent Director |
Russell J. Low | 52 | 2016 | CEO, President & Director |
Thomas St. Dennis | 69 | 2015 | Independent Director |
John T. Kurtzweil | 67 | 2015 | Independent Director |
Tzu-Yin Chiu | 67 | 2018 | Independent Director |
Jeanne Quirk | 53 | 2022 | Independent Director |
Dipti Vachani | 49 | 2022 | Independent Director |
Necip Sayiner | 58 | 2024 | Director |
Gregory B. Graves | 63 | 2024 | Director |
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